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真空泵的种类

随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求。5、一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查桷胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。

真空泵的材质要求

1、要有足够的机械强度和刚度，从而保证壳体能承受较大的大气压力，在加热烘烤时不可发生变形。

2、化学稳定性好。真空泵的材质要有较强的和抗腐蚀能力，不与真空泵中的工作介质及工艺过程中的放气发生化学反应。

3、在工作温度和烘烤温度下，饱和蒸气压要足够低。

4、热稳定性好。在系统的工作温度范围内，能始终保持良好的真空性能和机械性能。

5、在工作真空度及工作温度下，真空容器内部的器件应保持良好的工作性能。

6、另外，真空泵的材质要有较好的延展性、机械加工性能和焊接性能，易加工成复杂形状的壳体。

7、气密性好。它在工作时，要保持在很高的真空环境下，所以器壁材料不可以存在多孔结构、裂纹或形成渗漏的其它缺陷，渗透速率和出气速率要低。

真空泵的范围要求及工作压强

真空泵在进行使用的过程中，其工作强度应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

正确的选择其真空泵的工作点，每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。2、此时叶轮与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成叶片数目相等的若干个小腔。

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。如果大家能够增大循环供水量，那冷却效果便会得到一定程度上的提升。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。