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真空泵选型时的注意事项

1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

2、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。

如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。

另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

真空泵的材质要求

1、要有足够的机械强度和刚度，从而保证壳体能承受较大的大气压力，在加热烘烤时不可发生变形。

2、化学稳定性好。真空泵的材质要有较强的和抗腐蚀能力，不与真空泵中的工作介质及工艺过程中的放气发生化学反应。

3、在工作温度和烘烤温度下，饱和蒸气压要足够低。

4、热稳定性好。在系统的工作温度范围内，能始终保持良好的真空性能和机械性能。

5、在工作真空度及工作温度下，真空容器内部的器件应保持良好的工作性能。

6、另外，真空泵的材质要有较好的延展性、机械加工性能和焊接性能，易加工成复杂形状的壳体。

7、气密性好。它在工作时，要保持在很高的真空环境下，所以器壁材料不可以存在多孔结构、裂纹或形成渗漏的其它缺陷，渗透速率和出气速率要低。

真空泵的范围要求及工作压强

真空泵在进行使用的过程中，其工作强度应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

正确的选择其真空泵的工作点，每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。其实我们国家对于任何一个设备，在进行生产时，它的售后服务保障，都会有着严格的规定。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。